| Pfeiffer Vacuum Technology, MEUR | 2022 | 2021 | Förändring |
| Orderingång | 1 103,2 | 964,3 | 14,4% |
| Nettoomsättning | 916,7 | 771,4 | 18,8% |
| Rörelseresultat | 119,4 | 93,1 | 28,2% |
| Rörelsemarginal | 13,0% | 12,1% | |
| Nettoresultat | 86,4 | 62 | 39,4% |
| Resultat per aktie, EUR | 8,75 | 6,28 | 39,3% |
| Utdelning per aktie, EUR | 0,11 | 4,08 | -97,3% |