| Pfeiffer Vacuum Technology, MEUR | 2021 | 2020 | Förändring |
| Orderingång | 964,3 | 631,3 | 52,7% |
| Nettoomsättning | 771,4 | 618,7 | 24,7% |
| Rörelseresultat | 93,1 | 45,3 | 105,5% |
| Rörelsemarginal | 12,1% | 7,3% | |
| Nettoresultat | 62 | 31,6 | 96,2% |
| Resultat per aktie, EUR | 6,28 | 3,20 | 96,3% |
| Utdelning per aktie, EUR | 4,08 | 1,60 | 155,0% |