| Pfeiffer Vacuum Technology, MEUR | Q3-2021 | Q3-2020 | Förändring |
| Orderingång | 239,2 | 144,7 | 65,3% |
| Nettoomsättning | 184,1 | 152,0 | 21,1% |
| Rörelseresultat | 25,9 | 16,1 | 60,9% |
| Rörelsemarginal | 14,1% | 10,6% | |
| Nettoresultat | 18,3 | 11,3 | 61,9% |
| Resultat per aktie, EUR | 1,85 | 1,14 | 62,3% |