| ASML, MEUR | Q1-2021 | Konsensus | Förändring mot konsensus | Q1-2020 | Förändring |
| Nettoomsättning | 4 363,9 | 4 030 | 8,3% | 2 440,6 | 78,8% |
| Rörelseresultat | 1 560,6 | 426,7 | 265,7% | ||
| Rörelsemarginal | 35,8% | 17,5% | |||
| Nettoresultat | 1 331,4 | 1 080 | 23,3% | 366,8 | 263,0% |
| Resultat per aktie, EUR | 3,21 | 0,93 | 245,2% | ||
| Kassaflöde från löpande verksamhet | -941,7 | -605,8 |